탄소 다배출업종인 반도체 산업에서 공정개선 및 신기술 도입 등의 노력을 통해 제품의 단위 생산량 대비 온실가스 배출량을 상대적으로 낮춘 반도체 제품을 제조하는 경제활동이다.

해당 경제활동에는 반도체 생산을 위한 설비를 구축·운영하는 활동이 포함되며, <온실가스 배출권거래제 제4차 계획기간 국가 배출권 할당계획(이하 “국가 배출권 할당계획”)>에서 제품 벤치마크(BM, Bench Mark)가 개발되어 있는 설비에 한정한다.

어떤 설비가 포함되는지는 <국가 배출권 할당계획> [붙임 4] 제품BM E01~E02에서 확인할 수 있으며, <국가 배출권 할당계획>에 따라 제품BM을 적용받지 않는 공정은 제외된다.

반도체 생산을 위한 설비를 구축·운영하는 활동의 경우, 사업계획서 등을 통해 <국가 배출권 할당계획> [붙임 4] 제4차 계획기간 BM 적용 기준의 제품BM E01~E02에 해당하는 공정인지를 먼저 검토하여야 한다.

상온에서 전기 전도율이 도체와 절연체의 중간 정도인 물질로, 낮은 온도에서는 전기가 통하지 않으나 높은 온도에서는 전기가 잘 통한다. 정류기, 다이오드, 집적 회로, 트랜지스터 등의 전자소자에 널리 쓰인다.